公司動(dòng)態(tài)

會(huì)議邀請(qǐng)丨聯(lián)盛半導(dǎo)體誠摯邀請(qǐng)您相聚2025年SEMICON CHINA

公司簡介

聯(lián)盛半導(dǎo)體科技(無錫)有限公司成立于2023年5月，是山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司的全資子公司，工廠地址位于江蘇省無錫市錫山科創(chuàng)園，公司致力于半導(dǎo)體高端濕制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。

山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司目前已申請(qǐng)國家專利30多項(xiàng)，其中發(fā)明專利9項(xiàng)，并獲得國家高新技術(shù)企業(yè)，省級(jí)專精特新企業(yè)榮譽(yù)稱號(hào)，公司于2016年申請(qǐng)并通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，半導(dǎo)體專業(yè)認(rèn)證。并于2020年、2022年分別和山東大學(xué)微電子學(xué)院，青島大學(xué)電子信息工程學(xué)院建立產(chǎn)學(xué)研合作，同時(shí)總經(jīng)理馬玉水被青島大學(xué)聘為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)導(dǎo)師。

我們產(chǎn)品服務(wù)的領(lǐng)域包括硅材料、化合物半導(dǎo)體材料、陶瓷、玻璃等，主要設(shè)備有:全自動(dòng)RCA清洗機(jī)、全自動(dòng)鍍鎳鍍金清洗機(jī)、全自動(dòng)最終清洗機(jī)、全自動(dòng)腐蝕減薄清洗機(jī)、全自動(dòng)去邊清洗機(jī)、全自動(dòng)溝槽蝕刻機(jī)、全自動(dòng)二氧化硅蝕刻機(jī)、爐管清洗機(jī)、CVD前清洗機(jī)、CDS(SDS)系統(tǒng)、BClean、Oxide Remove、Nitride Remove、PR Strip、Lift Off、Particle Remove、Solvent Clean、Metal Etch、M2 Clean.

產(chǎn)品展示

全自動(dòng)腐蝕機(jī)

1、晶圓浸泡式腐蝕清洗，特制轉(zhuǎn)籠晶圓自動(dòng)旋轉(zhuǎn)和提拉。

2、工藝結(jié)果具備高度的均勻一致性，確保腐蝕效果。

3、氮?dú)夤呐莨δ埽\(yùn)行中氮?dú)夤苈房稍谒岵蹆?nèi)平行均勻移動(dòng)，鼓泡速率可調(diào)節(jié)。

4、化學(xué)藥液多級(jí)精細(xì)過濾，循環(huán)利用并自動(dòng)補(bǔ)液。

5、具有MES系統(tǒng)的信息交互通訊能力。

6、化學(xué)藥液具備InLine加熱冷卻恒溫功能。

7、提供標(biāo)準(zhǔn)的制程解決方案。

8、腐蝕精度:平整度增量TTV≤1.5μm

9、加工能力:晶片直徑4英寸至12英寸，每次數(shù)量75片/6英寸，50片/8英寸/12英寸。

10、清洗機(jī)通過硬件、軟件配置來較大限度的保護(hù)硅片，在異常狀況下設(shè)備出現(xiàn)Down機(jī)。

11、專利號(hào):202311724028，2020208029174，202020802916X，2020208029051，2020208029051。

單片清洗機(jī)

1、用于硅、碳化硅、氮化鎵等半導(dǎo)體材料的單片腐蝕、清洗、刷洗工藝。

2、機(jī)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多尺寸兼容(4&6英寸;6&8英寸;12英寸)。

3、工藝腔體經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)，高性能FFU,配合可調(diào)節(jié)高度的CUP,形成一個(gè)穩(wěn)定強(qiáng)度的downflow，嚴(yán)格控制wafer 表面工藝區(qū)域的動(dòng)態(tài)環(huán)境。

4、可以實(shí)現(xiàn)藥液(酸/堿/有機(jī))的排廢分離，無藥液的交叉污染。

5、可適用襯底及外延清洗、PR strip、Oxide removal等工藝。

6、支持 GEM/SECS協(xié)議，支持MES 系統(tǒng)聯(lián)機(jī)。

全自動(dòng)磨片后清洗機(jī)

1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口板材，可長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏。

2、采用KOH、混酸、SC1對(duì)芯片表面有機(jī)和無機(jī)物的有效處理工藝設(shè)備，可清洗6"、8"硅片。

3、可設(shè)計(jì)手動(dòng)、全自動(dòng)運(yùn)行，全自動(dòng)運(yùn)行方式采用多只機(jī)械手作業(yè)，更有效提高效率降低成本。

4、清洗能力:6~8英寸圓片，25片2籃/批。

5、各工藝槽模組化設(shè)計(jì)，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個(gè)統(tǒng)一的承漏底盤中，腐蝕槽設(shè)計(jì)底部排風(fēng)，降低排風(fēng)量。

6、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC和HMI，可帶MES系統(tǒng)。

7、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。

生產(chǎn)環(huán)境

聯(lián)系方式

無錫工廠：江蘇省無錫市錫山區(qū)芙蓉中三路90號(hào)青云三座1樓

生產(chǎn)基地：山東省高唐縣超越路創(chuàng)業(yè)示范園C棟

咨詢電話：13671788984 / 13869598805 / 18663593909

郵箱：lsee@zglsee.com

公司網(wǎng)址：m.nxmlgub.cn

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山東基地：山東高唐經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)超越路創(chuàng)業(yè)示范園C棟

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